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真空泵的范围要求及工作压强

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真空泵的范围要求及工作压强

发布日期:2021-09-13 作者: 点击:

真空泵的范围要求及工作压强

真空泵在进行使用的过程中,其工作强度应该满足真空设备的限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

正确的选择其真空泵的工作点,每种泵都有工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。

真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。

真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。贵州空调维修

真空泵机组的主要特点

1、机组作为成套设备供货,包含气液分离器、换热器、机架、内部管线等附件,可以大大缩短用户现场安装调试周期。

2、结构设计紧凑,占地空间小。

3、安装简单,操作和保养快捷,维护量小,运行成本低。

4、运行平稳,噪音低,清洁度高。

5、工作液闭式循环,大大减小了水资源的浪费和对环境的污染。

6、控温设计,可全天24小时满负荷运作。

7、整机内部无需用油,是清洁的环保设备。

8、适用于恶劣环境,工况下使用。

9、运行需提供外置冷却水,间接冷却,不污染冷却水。

贵州空调维修

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